驗(yàn)收材料： 《投影光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及批量生產(chǎn)基地項(xiàng)目水土保持設(shè)施驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》 《投影光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及批量生產(chǎn)基地項(xiàng)目水土保持監(jiān)測(cè)總結(jié)報(bào)告》 《投影光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及批量生產(chǎn)基地項(xiàng)目水土保持設(shè)施驗(yàn)收鑒定書(shū)》
